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Chemical composition and local structure of plasma enhanced chemical vapor-deposited Si nanodots and their embedding silica matrix

Dalba, Giuseppe;Daldosso, Nicola;Fornasini, Paolo;Grisenti, Rolly;Pavesi, Lorenzo;
2003-01-01
2003
APPLIED PHYSICS LETTERS
6
2-s2.0-0037428749
WOS:000180804100017
Dalba, Giuseppe; Daldosso, Nicola; Fornasini, Paolo; Grisenti, Rolly; Pavesi, Lorenzo; F., Rocca; G., Franzò; F., Priolo; F., Iacona
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