IRIS

Amorphous carbon film growth on Si: correlation between stress and generation of defects into the substrate

Brusa, Roberto Sennen;Mariazzi, Sebastiano;Karwasz, Grzegorz;Anderle, Mariano
2005-01-01
2005
APPLIED PHYSICS LETTERS
22
2-s2.0-20944442965
WOS:000229590100018
Brusa, Roberto Sennen; C., Macchi; Mariazzi, Sebastiano; Karwasz, Grzegorz; N., Laidani; R., Bartali; Anderle, Mariano
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