Formation of vacancy clusters and cavities in He-implanted silicon studied by slow-positron annihilation spectroscopy,

Brusa, Roberto Sennen;Karwasz, Grzegorz;Zecca, Antonio;
2002-01-01

2002
Brusa, Roberto Sennen; Karwasz, Grzegorz; N., Tiengo; Zecca, Antonio; F., Corni; R., Tonini; G., Ottaviani
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