Depth profile porosity and microstructure evolution studied by positron annihilation and Raman spectroscopy in SiOCH low-kappa films

Mariotto, Gino;Karwasz, Grzegorz;Zecca, Antonio;Bettonte, Marco;Brusa, Roberto Sennen
2004-01-01

2004
4-6
Macchi, C.; Mariotto, Gino; Karwasz, Grzegorz; Zecca, Antonio; Bettonte, Marco; Brusa, Roberto Sennen
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