3D active edge silicon sensors: Device processing, yield and QA for the ATLAS-IBL production

Dalla Betta, Gian Franco;Povoli, Marco;
2013-01-01

2013
Cinzia Da, Vià; Maurizio, Boscardil; Dalla Betta, Gian Franco; Giovanni, Darbo; Celeste, Fleta; Claudia, Gemme; Gabriele, Giacomini; Philippe, Grenier...espandi
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