3D active edge silicon sensors: Device processing, yield and QA for the ATLAS-IBL production

Dalla Betta, Gian Franco;Povoli, Marco;
2013

Cinzia Da, Vià; Maurizio, Boscardil; Dalla Betta, Gian Franco; Giovanni, Darbo; Celeste, Fleta; Claudia, Gemme; Gabriele, Giacomini; Philippe, Grenier; Sebastian, Grinstein; Thor Erik, Hansen; Jasmine, Hasi; Christopher, Kenney; Angela, Kok; Alessandro La, Rosa; Andrea, Micelli; Sherwood, Parker; Giulio, Pellegrini; David Leon, Pohl; Povoli, Marco; Elisa, Vianello; Nicola, Zorzi; S. J., Watts
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