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EnglishIn this paper we report on the most recent achievements of the ATLAS 3D Sensors Collaboration in the development of silicon 3D sensors. Results from 3D pixels production for the ATLAS Insertable B-Layer (IBL) are presented, showing the high quality and good process reproducibility of the technology. In view of the future detector upgrades at the LHC, a new generation of 3D pixel sensors will be developed. This will require some new ideas and the solution of technological challenges. Both will briefly be addressed in this paper.
| Titolo: | Recent developments and future perspectives in 3D silicon radiation sensors | |
| Autori: | Dalla Betta, Gian Franco; Da, Via; Povoli, Marco; S., Parker; M., Boscardin; G., Darbo; S., Grinstein; P., Grenier; J., Hasi; C., Kenney; A., Kok; C. H., Lai; G., Pellegrini; S., Watts | |
| Autori Unitn: | ||
| Titolo del periodico: | JOURNAL OF INSTRUMENTATION | |
| Anno di pubblicazione: | 2012 | |
| Numero e parte del fascicolo: | C10006 | |
| Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-84868231238 | |
| Codice identificativo WOS: | WOS:000310834800006 | |
| Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1088/1748-0221/7/10/C10006 | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11572/94642 | |
| Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
File in questo prodotto:
http://hdl.handle.net/11572/94642
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