Developments and optical characterization of vertical tapers in SiON waveguides using gray-scale lithography

Han, Bing; Rigo, E.; Guider, Romain; Larcheri, Silvia; Nunzi Conti, G.; Vanacharla, Manga Rao; Chiasera, Alessandro; Ferrari, M.; Pavesi, Lorenzo; Pucker, G.; Righini, G. C.; Ghulinyan, M.

doi:10.1117/12.886820

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Developments and optical characterization of vertical tapers in SiON waveguides using gray-scale lithography / B. Han; E. Rigo; R. Guider; S. Larcheri; G. Nunzi-Conti; M. R. Vanacharla; A. Chiasera; M. Ferrari; L. Pavesi; G. Pucker; G. C. Righini; M. Ghulinyan. - STAMPA. - 8096(2011).

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Titolo:	Developments and optical characterization of vertical tapers in SiON waveguides using gray-scale lithography
Autori Unitn:	Han, Bing E. Rigo Guider, Romain Larcheri, Silvia G. Nunzi Conti Vanacharla, Manga Rao Chiasera, Alessandro M. Ferrari Pavesi, Lorenzo G. Pucker G. C. Righini M. Ghulinyan mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Anno di pubblicazione:	2011
Titolo del periodico:	PROCEEDINGS OF SPIE, THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
Handle:	http://hdl.handle.net/11572/93143
Appare nelle tipologie:	03.1 Articolo su rivista (Journal article)

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