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EnglishTwo-dimensional micro-Raman mapping of stress and strain distributions in strained silicon waveguides / Bianco, Federica; K., Fedus; F., Enrichi; R., Pierobon; Cazzanelli, Massimo; M., Ghulinyan; G., Pucker; Pavesi, Lorenzo. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 27(2012), p. 085009.
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| Titolo: | Two-dimensional micro-Raman mapping of stress and strain distributions in strained silicon waveguides |
| Autori: | Bianco, Federica; K., Fedus; F., Enrichi; R., Pierobon; Cazzanelli, Massimo; M., Ghulinyan; G., Pucker; Pavesi, Lorenzo |
| Autori Unitn: | |
| Titolo del periodico: | SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY |
| Anno di pubblicazione: | 2012 |
| Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-84863749339 |
| Codice identificativo ISI: | WOS:000306331100012 |
| Digital Object Identifier (DOI): | 10.1088/0268-1242/27/8/085009 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11572/92460 |
| Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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http://hdl.handle.net/11572/92460
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