Modeling secondary electron images for linewidth measurement by critical dimension scanning electron microscopy

Dapor, Maurizio;
2010-01-01

2010
Mauro, Ciappa; Alexander, Koschik; Dapor, Maurizio; Wolfgang, Fichtner
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11572/84275
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
  • OpenAlex ND
social impact