Energy selective scanning electron microscopy to reduce the effect of contamination layers on scanning electron microscope dopant mapping

Rodenburg, C.; Jepson, M.; Bosch, E.; Dapor, Maurizio

doi:10.1016/j.ultramic.2010.04.008

Energy selective scanning electron microscopy to reduce the effect of contamination layers on scanning electron microscope dopant mapping

C. Rodenburg;M. Jepson;E. Bosch;Dapor, Maurizio

2010-01-01

Scheda breve

Scheda completa

Scheda completa (DC)

	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2010
			
	Titolo del periodico (Journal title)
	
				ULTRAMICROSCOPY
			
	DOI
	
				https://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2010.04.008
			
	Codice Scopus (Scopus identifier)
	
				2-s2.0-77955514042
			
	Codice WOS (WOS identifier)
	
				WOS:000281475700011
			
	Tutti gli autori
	
						C., Rodenburg; M., Jepson; E., Bosch; Dapor, Maurizio
					
	Appare nelle tipologie:
	
				03.1 Articolo su rivista (Journal article)