Physical properties of TiN thin films / F., Marchetti; Dapor, Maurizio; S., Girardi; F., Giacomozzi; A., Cavalleri. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING. - ISSN 0921-5093. - STAMPA. - A115:(1989), pp. 217-221.
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Titolo: | Physical properties of TiN thin films | |
Autori: | F., Marchetti; Dapor, Maurizio; S., Girardi; F., Giacomozzi; A., Cavalleri | |
Autori Unitn: | ||
Titolo del periodico: | MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING | |
Anno di pubblicazione: | 1989 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11572/83910 | |
Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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