Stoichiometry in Ti-N barrier layers studied by x-ray emission spectroscopy / Dapor, Maurizio; M., Elena; S., Girardi; G., Giunta; L., Guzman; A., Narsale. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 153(1987), pp. 303-311.
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Titolo: | Stoichiometry in Ti-N barrier layers studied by x-ray emission spectroscopy |
Autori: | Dapor, Maurizio; M., Elena; S., Girardi; G., Giunta; L., Guzman; A., Narsale |
Autori Unitn: | |
Titolo del periodico: | THIN SOLID FILMS |
Anno di pubblicazione: | 1987 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11572/83902 |
Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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