Fabrication and optical characterization of thin 2-dimensional Si3N4 waveguides

Daldosso, Nicola; Melchiorri, Mirko; Riboli, Francesco; Sbrana, F.; Pavesi, Lorenzo; Pucker, G.; Kompocholis, C.; Crivellari, M.; Bellutti, Pierluigi; Lui, A.

Fabrication and optical characterization of thin 2-dimensional Si3N4 waveguides

Daldosso, Nicola;Melchiorri, Mirko;Riboli, Francesco;F. Sbrana;Pavesi, Lorenzo;G. Pucker;C. Kompocholis;M. Crivellari;BELLUTTI, PIERLUIGI;A. Lui

2004-01-01

Scheda breve

Scheda completa

Scheda completa (DC)

	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2004
			
	Titolo del periodico (Journal title)
	
				MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
			
	Numero e parte del fascicolo (Issue number and part)
	
				4-6
			
	Codice Scopus (Scopus identifier)
	
				2-s2.0-9544245841
			
	Codice WOS (WOS identifier)
	
				WOS:000225855200051
			
	Tutti gli autori
	
						Daldosso, Nicola; Melchiorri, Mirko; Riboli, Francesco; F., Sbrana; Pavesi, Lorenzo; G., Pucker; C., Kompocholis; M., Crivellari; Bellutti, Pierluigi;...espandi
						
	Appare nelle tipologie:
	
				03.1 Articolo su rivista (Journal article)