IRIS

Fabrication and optical characterization of thin 2-dimensional Si3N4 waveguides

Daldosso, Nicola;Melchiorri, Mirko;Riboli, Francesco;Pavesi, Lorenzo;BELLUTTI, PIERLUIGI;
2004-01-01
2004
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
4-6
2-s2.0-9544245841
WOS:000225855200051
Daldosso, Nicola; Melchiorri, Mirko; Riboli, Francesco; F., Sbrana; Pavesi, Lorenzo; G., Pucker; C., Kompocholis; M., Crivellari; Bellutti, Pierluigi; A., Lui
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