IRIS

Interference lithography by a soft x-ray laser beam: Nanopatterning on photoresists

Bettotti, Paolo;Pavesi, Lorenzo
2007-01-01
2007
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
no. 3
2-s2.0-34548040217
WOS:000249240600090
A., Ritucci; A., Reale; P., Zuppella; L., Reale; P., Tucceri; G., Tomassetti; Bettotti, Paolo; Pavesi, Lorenzo
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