Structural properties of reactively sputtered W-Si-N thin films

Quaranta, Alberto;Della Mea, Gianantonio;Brusa, Roberto Sennen;
2007-01-01

2007
i. 3
A., Vomiero; E., Boscolo Marchi; Quaranta, Alberto; Della Mea, Gianantonio; Brusa, Roberto Sennen; G., Mariotto; L., Felisari; S., Frabboni; R., Tonini; G., Ottaviani; G., Mattei; A., Scandurra; O., Puglisi
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