Structural properties of reactively sputtered W-Si-N thin films

Vomiero, A.; Boscolo Marchi, E.; Quaranta, Alberto; Della Mea, Gianantonio; Brusa, Roberto Sennen; Mariotto, G.; Felisari, L.; Frabboni, S.; Tonini, R.; Ottaviani, G.; Mattei, G.; Scandurra, A.; Puglisi, O.

Structural properties of reactively sputtered W-Si-N thin films

A. Vomiero;E. Boscolo Marchi;Quaranta, Alberto;Della Mea, Gianantonio;Brusa, Roberto Sennen;G. Mariotto;L. Felisari;S. Frabboni;R. Tonini;G. Ottaviani;G. Mattei;A. Scandurra;O. Puglisi

2007-01-01

Scheda breve

Scheda completa

Scheda completa (DC)

	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2007
			
	Titolo del periodico (Journal title)
	
				JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
			
	Numero e parte del fascicolo (Issue number and part)
	
				i. 3
			
	Tutti gli autori
	
						A., Vomiero; E., Boscolo Marchi; Quaranta, Alberto; Della Mea, Gianantonio; Brusa, Roberto Sennen; G., Mariotto; L., Felisari; S., Frabboni; R., Tonin...espandi
						
	Appare nelle tipologie:
	
				03.1 Articolo su rivista (Journal article)