IRIS

Effects of thermal annealing on the structural properties of sputtered W-Si-N diffusion barriers

Boscolo Marchi, Enrico;Quaranta, Alberto;Della Mea, Gianantonio;Mariotto, Gino;
2004-01-01
2004
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
4-6
A., Vomiero; Boscolo Marchi, Enrico; S., Frabboni; Quaranta, Alberto; Della Mea, Gianantonio; Mariotto, Gino; L., Felisari; M., Butturi
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