Vacancy clusters and cavity formation in He-implanted silicon studied by slow-positron annihilation spectroscopy

Brusa, Roberto Sennen;Zecca, Antonio;
2000-01-01

2000
15
Brusa, Roberto Sennen; G., Karwasz; N., Tiengo; Zecca, Antonio; F., Corni; R., Tonini; G., Ottaviani
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