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Argon-hydrogen rf plasma study for carbon film deposition / N., Laidani; R., Bartali; Tosi, Paolo; M., Anderle. - In: JOURNAL OF PHYSICS. D, APPLIED PHYSICS. - ISSN 1361-6463. - ELETTRONICO. - 37:18(2004), pp. 2593-2606.

Argon-hydrogen rf plasma study for carbon film deposition

Tosi, Paolo;
2004-01-01
2004
JOURNAL OF PHYSICS. D, APPLIED PHYSICS
18
2-s2.0-4744359310
WOS:000224418000017
N., Laidani; R., Bartali; Tosi, Paolo; M., Anderle
Argon-hydrogen rf plasma study for carbon film deposition / N., Laidani; R., Bartali; Tosi, Paolo; M., Anderle. - In: JOURNAL OF PHYSICS. D, APPLIED PHYSICS. - ISSN 1361-6463. - ELETTRONICO. - 37:18(2004), pp. 2593-2606.
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