Argon-hydrogen rf plasma study for carbon film deposition / N., Laidani; R., Bartali; Tosi, Paolo; M., Anderle. - In: JOURNAL OF PHYSICS. D, APPLIED PHYSICS. - ISSN 1361-6463. - ELETTRONICO. - 37:18(2004), pp. 2593-2606.

Argon-hydrogen rf plasma study for carbon film deposition

Tosi, Paolo;
2004-01-01

2004
18
N., Laidani; R., Bartali; Tosi, Paolo; M., Anderle
Argon-hydrogen rf plasma study for carbon film deposition / N., Laidani; R., Bartali; Tosi, Paolo; M., Anderle. - In: JOURNAL OF PHYSICS. D, APPLIED PHYSICS. - ISSN 1361-6463. - ELETTRONICO. - 37:18(2004), pp. 2593-2606.
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11572/73377
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 35
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 34
social impact