The role on N in the resputtering inhibition of Si in W-Si-N reactively sputtered thin layers

Mariotto, Gino;Della Mea, Gianantonio;
2005-01-01

2005
i. 3
A., Vomiero; E., Boscolo Marchi; Mariotto, Gino; Della Mea, Gianantonio; A., Scandurra; O., Puglisi
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