Improvement of the electrochemical behaviour of AlN films producedby reactive sputtering using various under-layer

Rossi, Stefano;Bonora, Pierluigi;Fedrizzi, Lorenzo
2001-01-01

2001
F., Vacandio; Y., Massiani; P., Gravier; Rossi, Stefano; Bonora, Pierluigi; Fedrizzi, Lorenzo
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