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r.f. magnetron sputtered thin films of nitrided Co,Ni-based alloy / Scardi, Paolo; Y., Dong; Tosi, Carlo. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B. - ISSN 1071-1023. - STAMPA. - 19:5(2001), pp. 2394-2399.

r.f. magnetron sputtered thin films of nitrided Co,Ni-based alloy

Scardi, Paolo;Tosi, Carlo
2001-01-01
2001
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B
5
Scardi, Paolo; Y., Dong; Tosi, Carlo
r.f. magnetron sputtered thin films of nitrided Co,Ni-based alloy / Scardi, Paolo; Y., Dong; Tosi, Carlo. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B. - ISSN 1071-1023. - STAMPA. - 19:5(2001), pp. 2394-2399.
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