Ar-dilution effects on the elastic and structural properties of hydrogenated hard carbon films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Mariotto, Gino;Tosi, Paolo;
2001

3-7
L., Valentini; J. M., Kenny; Mariotto, Gino; Tosi, Paolo; G., Carlotti; D., Fioretto; L., Lozzi; S., Santucci
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