IRIS

Vibrational spectroscopy study of Ar+-ion irradiated Si-rich oxide films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition

Mariotto, Gino;Quaranta, Alberto;Della Mea, Gianantonio;
2005-01-01
2005
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
11
Mariotto, Gino; G., Das; Quaranta, Alberto; Della Mea, Gianantonio; F., Corni; R., Tonini
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