Innovative dielectrics for semiconductor technology / Brusa, Roberto Sennen; C., Macchi; Mariazzi, Sebastiano; G. P., Karwasz; G., Scarel; M., Fanciulli. - In: RADIATION PHYSICS AND CHEMISTRY. - ISSN 0969-806X. - STAMPA. - 76:2(2007), pp. 189-194.
Titolo: | Innovative dielectrics for semiconductor technology | |
Autori: | Brusa, Roberto Sennen; C., Macchi; Mariazzi, Sebastiano; G. P., Karwasz; G., Scarel; M., Fanciulli | |
Autori Unitn: | ||
Titolo del periodico: | RADIATION PHYSICS AND CHEMISTRY | |
Anno di pubblicazione: | 2007 | |
Numero e parte del fascicolo: | 2 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11572/66033 | |
Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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