Study of precipitate in Si-rich SiO2 films

Brusa, Roberto Sennen;Zecca, Antonio;Mariotto, Gino;
2002-01-01

2002
Brusa, Roberto Sennen; W., Deng; G. P., Karwasz; Zecca, Antonio; Mariotto, Gino; P., Folegati; R., Ferragut; A., Dupasquier
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