IRIS

Fluorine incorporation into amorphous hydrogenated carbon films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition: structural modifications investigated by X-ray photoelectron spectrometry and Raman spectroscopy

Mariotto, Gino;
2001-01-01
2001
DIAMOND AND RELATED MATERIALS
3-7
M. M., Da Costa; F., Freire Lazaro; L. G., Jacobsohn; D., Franceschini; Mariotto, Gino; I., Baumvol
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