Amorphous carbon films PACVD in CH4-CO2 under pulsed and continuous substrate bias conditions

Brusa, Roberto Sennen;Mariazzi, Sebastiano;Anderle, Mariano
2005

3-7
G., Gottardi; N., Laidani; R., Bartali; M., Filippi; L., Calliari; Brusa, Roberto Sennen; Mariazzi, Sebastiano; C., Macchi; Anderle, Mariano
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