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EnglishAmorphous carbon films PACVD in CH4-CO2 under pulsed and continuous substrate bias conditions / G., Gottardi; N., Laidani; R., Bartali; M., Filippi; L., Calliari; Brusa, Roberto Sennen; Mariazzi, Sebastiano; C., Macchi; Anderle, Mariano. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - STAMPA. - 14:3-7(2005), pp. 1031-1035.
| Titolo: | Amorphous carbon films PACVD in CH4-CO2 under pulsed and continuous substrate bias conditions |
| Autori: | G., Gottardi; N., Laidani; R., Bartali; M., Filippi; L., Calliari; Brusa, Roberto Sennen; Mariazzi, Sebastiano; C., Macchi; Anderle, Mariano |
| Autori Unitn: | |
| Titolo del periodico: | DIAMOND AND RELATED MATERIALS |
| Anno di pubblicazione: | 2005 |
| Numero e parte del fascicolo: | 3-7 |
| Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-18444391259 |
| Codice identificativo ISI: | WOS:000229751400149 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11572/37738 |
| Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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http://hdl.handle.net/11572/37738
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