IRIS

Structural analysis of TiNx films prepared by reactive-ion-beam-enhanced deposition

Scardi, Paolo;Gialanella, Stefano;
1990-01-01
1990
2-s2.0-0025410449
WOS:A1990DG34600018
D., Kothari; Scardi, Paolo; Gialanella, Stefano; L., Guzman
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