Chemical, mechanical and electrical properties of CNx films produced by reactive sputtering and N+ implantation in carbon films / N., Laidani; Miotello, Antonio; J., Perriere. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - STAMPA. - 99:4(1996), pp. 273-284.
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Titolo: | Chemical, mechanical and electrical properties of CNx films produced by reactive sputtering and N+ implantation in carbon films | |
Autori: | N., Laidani; Miotello, Antonio; J., Perriere | |
Autori Unitn: | ||
Titolo del periodico: | APPLIED SURFACE SCIENCE | |
Anno di pubblicazione: | 1996 | |
Numero e parte del fascicolo: | 4 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11572/28462 | |
Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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