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EnglishChemical, mechanical and electrical properties of CNx films produced by reactive sputtering and N+ implantation in carbon films / N. Laidani ; A. Miotello ; J. Perriere. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - STAMPA. - 99:4(1996), pp. 273-284.
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| Titolo: | Chemical, mechanical and electrical properties of CNx films produced by reactive sputtering and N+ implantation in carbon films |
| Autori Unitn: | |
| Anno di pubblicazione: | 1996 |
| Titolo del periodico: | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11572/28462 |
| Appare nelle tipologie: | 03.1 Articolo su rivista (Journal article) |
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