Depth profiling of defects in He implanted SiO2

Mariazzi, Sebastiano; Toniutti, Laura; Brusa, Roberto Sennen; Duarte Naia, M.; Karbowski, A.; Karwasz, G. P.

Depth profiling of defects in He implanted SiO2

Mariazzi, Sebastiano;Toniutti, Laura;Brusa, Roberto Sennen;M. Duarte Naia;A. Karbowski;G. P. Karwasz

2008-01-01

Scheda breve

Scheda completa

Scheda completa (DC)

	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2008
			
	Titolo del periodico (Journal title)
	
				ACTA PHYSICA POLONICA A
			
	Numero e parte del fascicolo (Issue number and part)
	
				5
			
	Tutti gli autori
	
						Mariazzi, Sebastiano; Toniutti, Laura; Brusa, Roberto Sennen; M., Duarte Naia; A., Karbowski; G. P., Karwasz
					
	Appare nelle tipologie:
	
				03.1 Articolo su rivista (Journal article)