IRIS

Comparison among various Si/sub 3/N/sub 4/ waveguide geometries grown within a CMOS fabrication pilot line

Daldosso, Nicola;Melchiorri, Mirko;Riboli, Francesco;BELLUTTI, PIERLUIGI;Pavesi, Lorenzo
2004-01-01
2004
JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY
7
2-s2.0-3843085101
Daldosso, Nicola; Melchiorri, Mirko; Riboli, Francesco; M., Girardini; G., Pucker; M., Crivellari; Bellutti, Pierluigi; A., Lui; Pavesi, Lorenzo
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