Silicon nanocrystal formation in annealed silicon-rich silicon oxide films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

Daldosso, Nicola;Larcheri, Silvia;Mariotto, Gino;Dalba, Giuseppe;Pavesi, Lorenzo;
2007-01-01

11
Daldosso, Nicola; G., Das; Larcheri, Silvia; Mariotto, Gino; Dalba, Giuseppe; Pavesi, Lorenzo; A., Irrera; F., Priolo; F., Iacona; F., Rocca
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11572/23293
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 77
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 74
social impact