IRIS

Composition and resistivity changes of reactively sputtered W-Si-N thin films undervacuum annealing

Mariotto, Gino;Quaranta, Alberto;Della Mea, Gianantonio;
2006-01-01
2006
APPLIED PHYSICS LETTERS
3
A., Vomiero; E., Boscolo Marchi; Mariotto, Gino; Quaranta, Alberto; Della Mea, Gianantonio; G., Ottaviani; R., Tonini; M., Butturi; G., Martinelli
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