Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition

Kovac, J.; Scarel, G.; Sancrotti, M.; Beghi, M.; Bottani, C.; Ossi, P. M.; Calliari, L.; Bonelli, Marco; Miotello, Antonio

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Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition / J., Kovac; G., Scarel; M., Sancrotti; M., Beghi; C., Bottani; P. M., Ossi; L., Calliari; Bonelli, Marco; Miotello, Antonio. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - STAMPA. - 86:10(1999), pp. 5566-5572.

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Titolo:	Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition
Autori:	J., Kovac; G., Scarel; M., Sancrotti; M., Beghi; C., Bottani; P. M., Ossi; L., Calliari; Bonelli, Marco; Miotello, Antonio
Autori Unitn:	J. Kovac G. Scarel M. Sancrotti M. Beghi C. Bottani P. M. Ossi L. Calliari Bonelli, Marco Miotello, Antonio mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Titolo del periodico:	JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Anno di pubblicazione:	1999
Numero e parte del fascicolo:	10
Handle:	http://hdl.handle.net/11572/21986
Appare nelle tipologie:	03.1 Articolo su rivista (Journal article)

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http://hdl.handle.net/11572/21986

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