Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition

Kovac, J.; Scarel, G.; Sancrotti, M.; Beghi, M.; Bottani, C.; Ossi, P. M.; Calliari, L.; Bonelli, M.; Miotello, A.

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Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition / J. Kovac ; G. Scarel ; M. Sancrotti ; M. Beghi ; C. Bottani ; P. M. Ossi ; L. Calliari ; M. Bonelli ; A. Miotello. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - STAMPA. - 86:10(1999), pp. 5566-5572.

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11572/21986

Titolo:	Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition
Autori Unitn:	Bonelli, Marco Miotello, Antonio
Anno di pubblicazione:	1999
Titolo del periodico:	JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Handle:	http://hdl.handle.net/11572/21986
Appare nelle tipologie:	03.1 Articolo su rivista (Journal article)

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