Time-dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition

Bonelli, Marco;Miotello, Antonio
1999-01-01

1999
10
J., Kovac; G., Scarel; M., Sancrotti; M., Beghi; C., Bottani; P. M., Ossi; L., Calliari; Bonelli, Marco; Miotello, Antonio
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