A dry film technology for the manufacturing of 3-D multi-layered microstructures and buried channels for lab-on-chip / Mulloni, Viviana; Capuano, Andrea; Adami, Andrea; Quaranta, Alberto; Lorenzelli, Leandro. - In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES. - ISSN 0946-7076. - ELETTRONICO. - versione on-line:(2018). [10.1007/s00542-018-4177-7]
A dry film technology for the manufacturing of 3-D multi-layered microstructures and buried channels for lab-on-chip
Capuano, Andrea;Adami, Andrea;Quaranta, Alberto;Lorenzelli, Leandro
2018-01-01
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