Residual stress and texture in Aluminum doped Zinc Oxide layers deposited by reactive radio frequency magnetron sputtering / Azanza Ricardo, Cristy Leonor; Pastorelli, M.; D'Incau, Mirco; Aswath, Pranesh; Scardi, Paolo. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - ELETTRONICO. - 605:(2016), pp. 169-172. [10.1016/j.tsf.2015.11.086]
Residual stress and texture in Aluminum doped Zinc Oxide layers deposited by reactive radio frequency magnetron sputtering
Azanza Ricardo, Cristy Leonor;D'Incau, Mirco;Aswath, Pranesh;Scardi, Paolo
2016-01-01
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