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On-Wafer Electro-Mechanical Characterization of Silicon MEMS Switches
2003-01-01 L., Lorenzelli; Rangra, Kamaljit; C., Collini; F., Giacomozzi; B., Margesin; Pianegiani, Fernando
Symmetric toggle switch: a new type of rf MEMS switch for telecommunication applications: design and fabrication
2005-01-01 Rangra, Kamaljit; B., Margesin; L., Lorenzelli; F., Giacomozzi; C., Collini; Zen, Mario; Soncini, Giovanni; L., Del Tin; R., Gaddi
Titolo | Anno di pubblicazione | Autori Unitn | File |
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On-Wafer Electro-Mechanical Characterization of Silicon MEMS Switches | 1-gen-2003 | Rangra, KamaljitPianegiani, Fernando + | |
Symmetric toggle switch: a new type of rf MEMS switch for telecommunication applications: design and fabrication | 1-gen-2005 | Rangra, KamaljitZEN, MARIOSoncini, Giovanni + |
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