On-Wafer Electro-Mechanical Characterization of Silicon MEMS Switches

Rangra, Kamaljit;Pianegiani, Fernando
2003

Proceedings of the International Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS 2003
IEEE
L., Lorenzelli; Rangra, Kamaljit; C., Collini; F., Giacomozzi; B., Margesin; Pianegiani, Fernando
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