Polysilicon mesoscopic wires coated by Pd as H2 sensors

Tibuzzi, Arianna;Soncini, Giovanni;Dalla Betta, Gian Franco
2009

Proceedings of the 13th Italian Conference on Sensors and Microsystems
Singapore
World Scientific Publishing
9789812835970
M., Benetti; D., Cannata; F., Dipietrantonio; E., Verona; C., Di Natale; A., D'Amico; S., Paletti; M., Lemme; Tibuzzi, Arianna; B., Margesin; Soncini, Giovanni; Dalla Betta, Gian Franco
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