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EnglishENERGY SELECTIVE SECONDARY ELECTRON DETECTION A SOLUTION TO SITE SPECIFIC SEM DOPANT MAPPING / C., Rodenburg; M. A. E., Jepson; E. G. T., Bosch; Dapor, Maurizio. - (2010). ((Intervento presentato al convegno 12th International Seminar of Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation tenutosi a Brno, CZECH REPUBLIC nel MAY 31 - JUN 04, 2010.
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| Titolo: | ENERGY SELECTIVE SECONDARY ELECTRON DETECTION A SOLUTION TO SITE SPECIFIC SEM DOPANT MAPPING |
| Autori: | C., Rodenburg; M. A. E., Jepson; E. G. T., Bosch; Dapor, Maurizio |
| Autori Unitn: | |
| Titolo del volume contenente il saggio: | RECENT TRENDS IN CHARGED PARTICLE OPTICS AND SURFACE PHYSICS INSTRUMENTATION |
| Luogo di edizione: | BRNO, 612 64, CZECH REPUBLIC |
| Casa editrice: | ACAD SCIENCES, CZECH REPUBLIC, INST SCIENTIFIC INSTRUMENTS ASCR, V V I, KRALOVOPOLSKA 147, BRNO, 612 64, CZECH REPUBLIC |
| Anno di pubblicazione: | 2010 |
| ISBN: | 9788025468425 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11572/94456 |
| Appare nelle tipologie: | 04.1 Saggio in atti di convegno (Paper in proceedings) |
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