ENERGY SELECTIVE SECONDARY ELECTRON DETECTION A SOLUTION TO SITE SPECIFIC SEM DOPANT MAPPING

Dapor, Maurizio
2010-01-01

2010
RECENT TRENDS IN CHARGED PARTICLE OPTICS AND SURFACE PHYSICS INSTRUMENTATION
BRNO, 612 64, CZECH REPUBLIC
ACAD SCIENCES, CZECH REPUBLIC, INST SCIENTIFIC INSTRUMENTS ASCR, V V I, KRALOVOPOLSKA 147, BRNO, 612 64, CZECH REPUBLIC
9788025468425
C., Rodenburg; M. A. E., Jepson; E. G. T., Bosch; Dapor, Maurizio
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