A novel Monte Carlo simulation code for linewidth measurement incritical dimension scanning electron microscopy

Koschik, A.; Ciappa, M.; Holzer, S.; Dapor, Maurizio; Fichtner, W.

doi:10.1117/12.853804

A novel Monte Carlo simulation code for linewidth measurement incritical dimension scanning electron microscopy

A. Koschik;M. Ciappa;S. Holzer;Dapor, Maurizio;W. Fichtner

2010-01-01

Scheda breve

Scheda completa

Scheda completa (DC)

	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2010
			
	Titolo del volume (Proceedings title)
	
				Proc. of SPIE
			
	Autore/i del libro (Book author/s)
	
				Michael T. Postek, Dale E. Newbury, S. Frank Platek, David C. Joy
			
	Luogo di edizione (Place of publication)
	
				Monterey, California, USA
			
	Casa editrice (Publisher)
	
				SPIE
			
	Codice Scopus (Scopus Identifier)
	
				2-s2.0-77954489749
			
	Codice WOS (WOS identifier)
	
				WOS:000285720600019
			
	Tutti gli autori
	
						A., Koschik; M., Ciappa; S., Holzer; Dapor, Maurizio; W., Fichtner
					
	Appare nelle tipologie:
	
				04.1 Saggio in atti di convegno (Paper in Proceedings)