Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici

Pavesi, L.; Daldosso, N.; Lui, A.; Pucker, G.; Bellutti, P.

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Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici / L. Pavesi; N. Daldosso; A. Lui; G. Pucker; P. Bellutti. - STAMPA. - (2005).

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11572/83612

Titolo:	Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici
Autori Unitn:	Pavesi, Lorenzo Daldosso, Nicola BELLUTTI, PIERLUIGI
Anno di pubblicazione:	2005
Handle:	http://hdl.handle.net/11572/83612
Appare nelle tipologie:	05.1 Brevetto (Patent)

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