Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici

Pavesi, Lorenzo;Daldosso, Nicola;BELLUTTI, PIERLUIGI
2005-01-01

2005
Pavesi, Lorenzo; Daldosso, Nicola; A., Lui; G., Pucker; Bellutti, Pierluigi
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