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EnglishProcedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici / L. Pavesi; N. Daldosso; A. Lui; G. Pucker; P. Bellutti. - STAMPA. - (2005).
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http://hdl.handle.net/11572/83612| Titolo: | Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici |
| Autori Unitn: | Pavesi, Lorenzo Daldosso, Nicola BELLUTTI, PIERLUIGI |
| Anno di deposito: | 2005 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11572/83612 |
| Appare nelle tipologie: | 05.1 Brevetto (Patent) |
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