Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici / Pavesi, Lorenzo; Daldosso, Nicola; A., Lui; G., Pucker; Bellutti, Pierluigi. - STAMPA. - (2005).
Titolo: | Procedimento per realizzare strutture a microcavità di Fabry-Perot integrate in tecnologia al silicio utilizzabili per la realizzazione di sensori e/o dispositivi fotonici | |
Inventore/i: | Pavesi, Lorenzo; Daldosso, Nicola; A., Lui; G., Pucker; Bellutti, Pierluigi | |
Inventore/i di Ateneo: | ||
Anno di deposito: | 2005 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11572/83612 | |
Appare nelle tipologie: | 05.1 Brevetto (Patent) |
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