IRIS

Anisotropic etching rates in TMAH solutions of different Si crystallographic orientation as a function of film stress

ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni
2002-01-01
2002
Sensors for Environmental Control
World Scientific Publishing
V., Guarnieri; A., Bagolini; F., Giacomozzi; B., Margesin; Zen, Mario; M., Decarli; R., Pal; Soncini, Giovanni
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