IRIS

FEM based design and simulation of bulk micromachined MEMS accelerometers with low cross-axis sensitivity

Adami, Andrea;ZEN, MARIO;
2006-01-01
2006
Proceedings of the 7th international conference on thermal, mechanical and multi-physics simulation and experiments in micro-electronics and micro-systems: EURoSimE 2006, Grand Hotel di Como, Como, Italy, April 24-25-26, 2006
Piscataway, N.J.
IEEE Operations Center
R., Mukhiya; Adami, Andrea; A., Bagolini; Zen, Mario; S., Kal
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