Polysilicon mesoscopic wires coated by a Pd as high sensitivity H2 sensors

Tibuzzi, Arianna;ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni
2001-01-01

2001
Transducers'01. Eurosensors XV. The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. June 10-14, 2001, Munich, Germany
Springer
Tibuzzi, Arianna; C., Di Natale; A., D\'Amico; B., Margesin; S., Brida; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
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