Dry transfer bonding of porous silicon membranes to OSTE(+) polymer microfluidic devices

F. Saharil; K. B. Gylfason; Y. Liu; T. Haraldsson; Bettotti, Paolo; Kumar, Neeraj; W. van der Wijngaart

doi:10.1109/MEMSYS.2012.6170133

Dry transfer bonding of porous silicon membranes to OSTE(+) polymer microfluidic devices

F. Saharil;K. B. Gylfason;Y. Liu;T. Haraldsson;Bettotti, Paolo;Kumar, Neeraj;W. van der Wijngaart

2012-01-01

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	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2012
			
	Titolo del volume (Proceedings title)
	
				2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
			
	Luogo di edizione (Place of publication)
	
				Parigi
			
	Casa editrice (Publisher)
	
				IEEE
			
	ISBN
	
				9781467303248
9781467303255
			
	Codice Scopus (Scopus Identifier)
	
				2-s2.0-84860477442
			
	Codice WOS (WOS identifier)
	
				WOS:000312912800059
			
	Tutti gli autori
	
						F., Saharil; K. B., Gylfason; Y., Liu; T., Haraldsson; Bettotti, Paolo; Kumar, Neeraj; W., van der Wijngaart

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Dry transfer bonding of porous silicon membranes to OSTE(+) polymer microfluidic devices

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