Gas sensor microhotplate technology: silicon oxide/nitride or thin alumina film (TAF)?

Vasiliev, A.; Gogish klushin, S.; Kharitonov, D.; Guarnieri, A. Pisliakov V.; Zen, Mario; Margesin, B.; Soncini, Giovanni; Paranjape, M.

Gas sensor microhotplate technology: silicon oxide/nitride or thin alumina film (TAF)?

A. Vasiliev;S. Gogish klushin;D. Kharitonov;A. Pisliakov V. Guarnieri;ZEN, MARIO;B. Margesin;Soncini, Giovanni;M. Paranjape

2004-01-01

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	Anno di pubblicazione (Date of publication)
	
				2004
			
	Titolo del volume (Proceedings title)
	
				Technical digest of the 10th International Meeting on Chemical Sensors, July 11 - 14, 2004, Tsukuba, Japan
			
	Luogo di edizione (Place of publication)
	
				Tokyo, Japan
			
	Casa editrice (Publisher)
	
				Japan Association of Chemical Sensors
			
	Tutti gli autori
	
						A., Vasiliev; S., Gogish klushin; D., Kharitonov; A. Pisliakov V., Guarnieri; Zen, Mario; B., Margesin; Soncini, Giovanni; M., Paranjape
					
	Appare nelle tipologie:
	
				04.1 Saggio in atti di convegno (Paper in Proceedings)

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Gas sensor microhotplate technology: silicon oxide/nitride or thin alumina film (TAF)?

A. Vasiliev;S. Gogish klushin;D. Kharitonov;A. Pisliakov V. Guarnieri;ZEN, MARIO;B. Margesin;Soncini, Giovanni;M. Paranjape

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