Gas sensor microhotplate technology: silicon oxide/nitride or thin alumina film (TAF)?

ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni;
2004

Technical digest of the 10th International Meeting on Chemical Sensors, July 11 - 14, 2004, Tsukuba, Japan
Tokyo, Japan
Japan Association of Chemical Sensors
A., Vasiliev; S., Gogish klushin; D., Kharitonov; A. Pisliakov V., Guarnieri; Zen, Mario; B., Margesin; Soncini, Giovanni; M., Paranjape
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