Fabrication of mesoscopic polysilicon wires by surface micromachining techniques

Tibuzzi, Arianna;ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni;
2002-01-01

2002
World Scientific Publishing
Tibuzzi, Arianna; B., Margesin; S., Brida; V., Guarnieri; C., Di Natale; Zen, Mario; Soncini, Giovanni; A., D\'Amico
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