Development of silicon micro-heaters for chemoresistive gas sensors

Pignatel, Giorgio Umberto;Soncini, Giovanni;Verzellesi, Giovanni;ZEN, MARIO
1999-01-01

1999
S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; Pignatel, Giorgio Umberto; Soncini, Giovanni; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; Zen, Mario
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