Anemometric air flow sensor on silicon membrane

ZEN, MARIO;Soncini, Giovanni;
2004-01-01

2004
Sensors and Microsystems: Proceedings of the 8th Italian Conference
Hackensack, (NJ)
WorldSciBook
V., Guarnieri; A., Bagolini; F., Giacomozzi; B., Margesin; Zen, Mario; M., Decarli; Soncini, Giovanni; A., Vasiliev
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